Plateforme de caractérisation WAVESURF

• La plateforme WAVESURF est dédiée à la caractérisation des surfaces et des revêtements mais aussi des capteurs et des microsystèmes (MEMS). 
• Les caractérisations des Transducteurs & des Capteurs sont en partie réalisées grâce à la plateforme WAVESURF. 
• Elle est basée sur plusieurs dispositifs interférométriques qui permettent de détecter des "micro", "nano" et "pico" déplacements sur un très large domaine de fréquence pouvant atteindre 1,2 GHz. Plusieurs analyseurs de réseaux et dispositifs de mesure sous pointes viennent compléter celles-ci.

Le contrôle et la caractérisation (épaisseur, module d’Young, porosité, contraintes résiduelles, etc.) des surfaces et revêtements peuvent notamment être réalisés par ultrasons via les ondes acoustiques de surface (SURFace Acoustic WAVE) hautes fréquences (10-250 MHz).

Fast time-domain laser Doppler vibrometry characterization of surface acoustic waves devices 
SMAGIN N., DJOUMI L., HERTH E., VANOTI ., FALL D., BLONDEAU V., DUQUENNOY M., OUAFTOUH M.
Sens. Actuator A-Phys. 264 (2017) 96-106, doi: 10.1016/j.sna.2017.07.035